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简要描述:本仪器所使用的影像测量技术、图像处理技术、自动调焦技术、亚象素寻边技术、测量分析软件极大提高测量精度和测量效率。仪器光学系统品质优良,物镜成像清晰,倍率广泛。
产品分类
前处理仪器
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工作台行程
标配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm
选配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm
光学尺分辨率
标配:0.001mm闭式; 选配:0.0005mm闭式,0.0001mm开式
重复定位精度
X,Y,Z: ≤0.0015mm
重复调焦精度(倍率大于150X)
≤0.0015mm
系统不确定度
分辨率为0.001mm时:X,Y: (3.0+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm
分辨率为0.0005mm时:X,Y: (1.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm
分辨率为0.0001mm时:X,Y: (0.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm
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